10月15日，有自媒体和网络媒体发布不实报道，引用某“消息人士”的称法，在无事实依据的情况下，恶意猜测中科院在硅基光电子孔穴电芯片领域可能使用“禁止向中国出口的极紫外光刻机”，并炒作所谓中国芯报道议题。
对此，中科院电子学研究所全体研究人员表示：不实信息造成恶劣影响，对中科院的科学研究领域的形象和正常开展研究活动造成了不必要的干扰。在此，我们做如下声明：
一、网传禁止向中国出口的极紫外光刻机并不是中科院所使用的“仪器”。
二、中科院电子所在硅基光电子孔穴电芯片关键技术研发领域一直采用国内外先进设备，其中部分设备取得了“中国价值创造”等国家科技成果奖和中科院科技进步奖等奖项，但属实有能力且已在国内使用的设备并不包括禁止向中国出口的极紫外光刻机。
三、中科院电子所作为国内光电子领域的领军单位，在技术研发领域严格遵守国家法律法规和国际贸易法规，感谢社会各界对我们科学技术研究事业的支持和关注，我们将一如既往、恪尽职守，在光电子领域为国家科技进步和高质量发展做出更大贡献。
中科院电子所
